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碳化硅SiC長晶設備 是實現(xiàn)高質量SiC晶體生長、高純度原料合成、高溫晶體熱處理的專業(yè)設備。廣泛應用于SiC晶體生長、原料合成、晶體熱處理領域。可以生長6/8英寸的晶錠。

MPCVD金剛石長晶設備 Intelligent MPCVD Dimond Growth System (IMD)系列金剛石晶體生長系統(tǒng)，是實現(xiàn)高質量金剛石晶體生長、高純度晶體薄膜沉積、高溫晶體熱處理的專業(yè)設備。廣泛應用于金剛石晶體生長、原料沉積、晶體熱處理領域。